功能性：適合所有晶園尺寸
特別適用于半導體、平板顯示、印制電路板等行業的大尺寸樣品檢測。MX63可用于大晶圓
直徑200mm，MX63L可用于大晶圓直徑300mm。此外，新顯微鏡還可以選配晶園搬送機，實現

可靠、安全、高效的對晶圓正面和背面進行檢測。

新MX63/MX63L顯微鏡配備了高強度白光LED光源，兼顧低功耗和長壽命的優點，而且其穩定的色溫

為可靠的圖像質量和精確的色彩復現提供了保障。

新MX63/MX63L顯微鏡是該系列支持奧林巴斯MIX照明功能的產品，由此進一步提升了該顯微
鏡的觀察能力。MIX可將暗場與明場、熒光或偏振等其他觀察方法結合使用。在很多應用中，
MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統顯微鏡難以看到的缺陷。

利用HDR采集明亮區域和暗光區域
利用先進的圖像處理技術，高動態范圍(HDR)可在圖像內調整亮度差異，以減少眩光。HDR改善
了數字圖像的視覺品質，從而有助于生成具有專業級的報告。

利用光強管理器和自動孔徑控制實現快速觀察
對于常規顯微鏡，使用者每次觀察都需要調整光強度和孔徑。MX63系列讓使用者能夠針對不同
的倍率和觀察方法設定光強和孔徑條件。這些能夠輕松調用的設置即可幫助使用者節省時間又
可獲得優良的圖像質量。

從基本測量到高級分析
測量對于品質、工藝控制和檢測非常重要?；谶@一想法，即便入門級奧林巴斯Stream軟件包
也包括交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結果與圖像文件一起保存以便日后調用文檔。
此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點擊按鈕，圖
像分析任務即可快速精準完成?？纱蠓瓤s減重復性任務的處理時間，使操作人員的精力集中
在檢測工作上。

讓您的大尺寸樣品檢測流程更加順暢
MX63和MX63L顯微鏡系統特別適合尺寸最大300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質量檢測。其采用的模塊化設計可讓您根據需要選擇組件，獲得根據應用定制的系統。
這兩款符合人體工學設計且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時保持檢測者的工作舒適性。在與奧林巴斯Stream圖像分析軟件結合使用情況下，可以簡化從觀察到報告生成的整體工作流。
先進的分析工具
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠對樣品進行可靠的缺陷檢測。全新照明技術以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測結果提供更多選擇。
從不可見到可見：MIX觀察與圖像采集
通過將暗場與諸如明場、熒光或偏光等其他觀察方法結合使用，MIX觀察技術能夠獲得獨有的觀察圖像。MIX觀察技術可讓用戶發現用傳統顯微鏡難以看到的缺陷。暗場觀察所用的環形LED照明器具有在指定時間僅使用四分之一象限的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，對于樣品表面紋理的可視化非常有用。